С 51 Смолин, В. К. Возможности оценки качества металлизации по стойкости к электромиграции / В. К. Смолин, В. А. Герасимов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 17-20 : рис. - Библиогр. : с. 20 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ЭЛЕКТРОМИГРАЦИЯ -- ЭЛЕКТРОДИФФУЗИЯ -- СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы, связанные с методами оценки качества тонкопленочной металлизации по стойкости к электрическим нагрузкам с высокой плотностью тока. Показаны особенности применения при операционном контроле металлизации детерминированных электрических импульсов |