П 77 Прищепов, С. К. Интегральные и гибридные технологии производства феррозондовых датчиков / С. К. Прищепов, К. И. Власкин // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 2-4 : рис. - Библиогр. : с. 4 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ФЕРРОЗОНДОВЫЕ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ -- ДИАГРАММА НАПРАВЛЕННОСТИ ДАТЧИКА Аннотация: Рассмотрены методы минимизации основной погрешности направленности дифференциальных феррозондов углового смещения физической оси чувствительности относительно геометрической. Определены принципы совмещения обмоток и магнитопроводов феррозондов для выполнения прецизионных чувствительных элементов модульного типа. Представлены особенности гибридных и интегральных технологий изготовления феррозондовых датчиков |