Б 43 Белозубов, Е. М. Совершенствование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 27-33 : рис. - Библиогр. : с. 33 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- НИМЭМС -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены возможности улучшения характеристик тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков на их основе в условиях воздействия нестационарных температур |