Ч-87 Чуйко, О. В. Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования / О. В. Чуйко, А. Е. Кузнецов> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 38-40 : рис., табл. - Библиогр. : с. 40 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР МАЯТНИКОВЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- МАССА ИНЕРЦИОННАЯ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- ДЕМПФИРОВАНИЕ ВОЗДУШНОЕ Аннотация: Исследуются динамические характеристики чувствительного элемента (ЧЭ) заданной конструкции, обеспечивающей повышенное воздушное сопротивление. Возбуждение колебаний инерционной массы (ИМ) осуществляется с помощью пьезоэлемента, регистрация колебаний выполняется по отклонению лазерного луча от поверхности ИМ. Получены зависимости резонансной частоты и добротности ЧЭ от давления воздуха в диапазоне от 1 до 105 Па, а также зависимость добротности от размера воздушного зазора между ИМ и подложкой |