К 59 Козин, И. А. Исследование динамики микроэлектромеханических устройств с нанесенной металлизацией / И. А. Козин, А. В. Постников, О. В. Морозов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УСТРОЙСТВО МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- КРЕПЛЕНИЕ УСТРОЙСТВА -- ПОТЕРИ ЭНЕРГИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА Аннотация: Исследуется влияние тонкой пленки алюминия 0,3 мкм на динамические характеристики микроэлектромеханического устройства с двумя вращательными степенями свободы. Определены собственные частоты и добротности механической колебательной системы устройства. В работе обнаружено влияние способа крепления устройства к механической системе возбуждения. Показано, что добротность устройства с металлизацией достигает 15-20 тысяч, что достаточно для работы прибора в приложениях, и позволяет сократить число технологических операций при изготовлении |