И 88 Исследование физико-химических, эаектрофизических свойств и газочувствитеаьных характеристик нанокомпозитных пленок состава SiO2ZrOx / Т. Н. Назарова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 38-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД ЗОЛЬ-ГЕЛЬ -- МАТЕРИАЛ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- ДИОКСИД АЗОТА Аннотация: Рассмотрено формирование тонких пленок газочувствительного материала состава SiO2ZrOx золь-гель методом. Было проведено исследование их физико-химических и электрофизических свойств, а также изучены газочувствительные характеристики. Определено, что сенсор газа, изготовленный на основе пленок газочувствительного материала состава SiO2ZrOx, проявляет селективную чувствительность к диоксиду азота в диапазоне рабочих температур 30...200 °С |