Р 17 Разработка ионно-пучкового метода изготовления кремниевых нанопроводов / Б. А. Гурович [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 90-93 : рис. - Библиогр. : с. 93 (7 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПРОВОДА -- НАНОПРОВОДА КРЕМНИЕВЫЕ -- ОБЛУЧЕНИЕ ИОННОЕ -- МАСКА ЛИТОГРАФИЧЕСКАЯ Аннотация: Предложен новый метод изготовления кремниевых нанопроводов на поверхности стандартной кремниевой пластины с помощью ионного облучения через литографическую маску. Изучены условия синтеза оксида кремния при облучении кремниевой подложки протонами с энергий ~1 кэВ. Продемонстрирована возможность синтеза оксида кремния в области геометрической тени под формируемым монокристаллическим кремниевым нанопроводом |