С 71 Специализированное оптико-механическое и контрольно-измерительное оборудование для промышленного производства изделий микросистемотехники / С. М. Аваков, А. С. Агейченко, В. П. Зуев, А. И. Корнелюк, В. Е. Матюшков, В. К. Самохвалов, Я. И. Точицкий, Г. А. Трапашко, Д. П. Барышников, В. А. Русецкий // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 7-14 : рис., табл. - Библиогр.: с. 14 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМОТЕХНИКА -- ФОРМИРОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ -- ГЕНЕРАТОР ИЗОБРАЖЕНИЙ -- МУЛЬТИПЛИКАТОР -- КОНТРОЛЬ ПЛОСКОСТНОСТИ -- РАЗМЕР КРИТИЧЕСКИЙ -- СОВМЕЩЕНИЕ РИСУНКОВ Аннотация: Представлены предварительные результаты реализации научно-технической программы Союзного государства "Разработка и создание нового поколения микросистемотехники и унифицированных интегрированных систем двойного назначения на ее основе" в части создания специализированного оптико-механического и контрольно-измерительного оборудования для проведения фотолитографических и контрольных технологических операций в производстве изделий микросистемотехники |