Ф 79 Формирование субмикронных структур на поверхности пленок аморфного кремния наносекундным импульсным излучением лазерного генератора линии / В. В. Кушнир, М. В. Рубашкина, А. М. Светличный, О. Б. Спиридонов // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 9-10. - С. 23-28 : рис., табл. - Библиогр.: с. 28 (23 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОСТРУКТУРЫ -- ГЕНЕРАТОР ЛАЗЕРНЫЙ -- ПЛЕНКИ АМОРФНЫЕ КРЕМНИЕВЫЕ -- МОЩНОСТЬ ИЗЛУЧЕНИЯ Аннотация: Впервые представлены результаты экспериментального исследования влияния обработки лазерным лучом в форме узкой линии на формирование наноструктур на поверхности аморфных кремниевых пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку. Обработка проводилась на длине волны 532 нм при постоянной скорости сканирования и различных значениях мощности излучения. Экспериментально определены режимы лазерной обработки, при которых на поверхности кремниевой пленки формируется массив субмикронных структур с максимальным аспектным отношением |