А 91 Асташенкова, О. Н. Контроль физико-механических параметров тонких пленок / О. Н. Асташенкова, А. В. Корляков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 24-29 : рис. - Библиогр.: с. 29 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНЫ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МОДУЛЬ ЮНГА -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ -- СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК -- СПОСОБЫ ИЗМЕРЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ Аннотация: Представлена методика измерения и расчета сжимающих и растягивающих внутренних механических напряжений и модуля Юнга в однослойных и композиционных мембранных структурах на основе тонких пленок различных материалов. Приведены результаты измерения механических напряжений и модуля Юнга пленок различных материалов |