Г 83 Гридчин, В. А. Численное моделирование при проектировании сенсоров давления / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Б. Зиновьев // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 5-8 : рис. - Библиогр.: с. 8 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР ДАВЛЕНИЯ -- СЕНСОР ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- НЕЛИНЕЙНОСТЬ -- ПРОЧНОСТЬ Аннотация: Рассмотрен вариант тензорезистивного сенсора давления с упругим элементом (УЭ) в виде квадратной мембраны, на планарной стороне которой сформированы четыре углубления. Определено влияние геометрических размеров углублений на деформацию УЭ и приведены оценки чувствительности, нелинейности и прочности УЭ нового типа. Получено теоретическое и экспериментальное подтверждение увеличения чувствительности сенсора давления на основе предложенного варианта УЭ на 30 % по отношению к традиционным сенсорам давления с плоской мембраной |