623 Э 46 Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы [] : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов [и др.] ; Нац. исслед. технологический ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники. - М. : МИСИС, 2012. - 127 с. - Авт. указ. на обороте тит. л. - ISBN 978-5-87623-556-5 : 430.32 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ |