Г 12 Гавриленко, В. П. Нанометрология – ключевое звено инфраструктуры нанотехнологий / В. П. Гавриленко, П. А. Тодуа // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 47-55 : рис. - Библиогр.: с. 55 (19 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОМЕТРОЛОГИЯ -- НАНОЧАСТИЦ -- НАНОСТРУКТУР -- НАНОПОКРЫТИЯ -- ПЛЕНКИ -- МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МЕТОДЫ СПЕКТРОСКОПИЧЕСКОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ Аннотация: Размерные параметры наночастиц, наноструктур, нанопокрытий являются определяющими в характеризации объектов нанотехнологий. Одно из важнейших направлений нанометрологии – обеспечение единства измерений в нано- и субнанометровом диапазонах. Представлены новые типы кремниевых тест-объектов, обеспечивающих прослеживаемость размерных измерений к единице длины в системе СИ методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии. Приведены результаты измерений толщин пленки окисла кремния методами спектроскопической эллипсометрии и просвечивающей электронной микроскопии. Рассмотрены метрологические аспекты стандартизации в нанотехнологиях |