П 78 Проблемы метрологического обеспечения методики измерений структуры твердых образцов на атомно-силовом микроскопе с нанометровым разрешением / С. С. Гоц, Р. З. Бахтизин, Г. И. Журавлев, С. А. Севницкий // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 60-63 : рис. - Библиогр.: с. 63 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Дескрипторы: ДИФРАКТОМЕТРЫ -- МИКРОСКОП АТОМНО-СИЛОВОЙ -- РАЗРЕШЕНИЕ НАНОМЕТРОВОЕ -- ИНТЕРФЕРОМЕТРЫ ОПТИЧЕСКИЕ -- НАНОМЕТР -- КАЛИБРОВКА Аннотация: Рассмотрены проблемы метрологического обеспечения при создании методики измерения структуры твердых тел с нанометровым разрешением. Показано, что для калибровки атомно-силовых микроскопов в настоящее время используются эталонные меры длины, созданные на основе волновых методов. Применяемые в настоящее время оптические интерферометры, рентгеновские дифрактометры и другие волновые методы пока не способны обеспечить получение эталонных мер длины в 1 нм и менее. В связи с этим имеющиеся литературные данные о межатомных расстояниях твердых тел пока нельзя рассматривать как точные численные оценки истинных значений |