В 93 Высокоточные меры линейных размеров в нанодиапазоне / Д. В. Щеглов, С. С. Косолобов, Л. И. Федина, Е. Е. Родякина, А. К. Гутаковский // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 84-94 : рис. - Библиогр.: с. 94 (84 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОДИАПАЗОН -- ПОВЕРХНОСТЬ АТОМНО-СТРУКТУРИРОВАННАЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ -- КРИСТАЛЛА -- «СТЕПП-ИФП-1» -- СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ -- РАЗМЕРЫ ЛИНЕЙНЫЕ Аннотация: В статье проанализированы современные литографические методы создания мер нанометрового диапазона размеров и основные лимитирующие факторы применения таких мер. Показана перспективность создания высокоточных мер на основе атомно-структурированной кристаллической поверхности (содержащей моноатомные ступени), параметры которых привязаны (обеспечивают прослеживаемость размера длины) к кристаллографическим параметрам кристалла. Предложен метод создания таких мер, основанный на управлении морфологией поверхности монокристаллического кремния на атомном уровне за счет использования эффектов самоорганизации, возникающих на атомно-чистой поверхности при прогреве в сверхвысоком вакууме. Представлено описание комплекта высокоточных мер вертикальных размеров «СТЕПП-ИФП-1» в диапазоне размеров 0.31–31 нм с погрешностью во всем интервале измерений менее 0.05 нм. Разработанный комплект высокоточных мер после проведения государственных испытаний внесен в государственный реестр средств измерений как тип средства измерений № 48115-11 (Приказ Росстандарта № 6290 от 31.10.2011 г.) |