Ф 79 Формирование наноструктурированных пленок и слоистых структур иридия и поликластерного алмаза [Текст] / А. Ф. Белянин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 16-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (27 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ -- ПЛЕНКИ -- ПЛЕНКИ ИРИДИЯ |