М 73 Многокластерная нанотехнологическая установка для исследования и изготовления наносхем и функциональных наносистем для систем энергообеспечения космических аппаратов / А. Н. Дубовой, Б. Н. Родионов, С. Д. Егоров, С. Н. Мазур, А. В. Коротеев, М. В. Степанов, П. М. Хлюстов // Нанотехника. - 2013. - № 1. - С. 91-104 : рис. - Библиогр.: с. 104 (104 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОСХЕМЫ -- ЭНЕРГООБЕСПЕЧЕНИЕ -- АППАРАТЫ КОСМИЧЕСКИЕ -- УСТАНОВКА МНОГОКЛАСТЕРНАЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ -- МКНТУ -- НАНООСАЖДЕНИЯ -- МОДУЛЬ"СУПЕРКОМПЬЮТЕР" -- НАНОСИСТЕМЫ -- ТЕХНОЛОГИИ ЗОНДОВЫЕ НАНОЛОКАЛЬНЫЕ Аннотация: Мульти кластера Nano технический комплекс (MCNTC) с открытой архитектурой описывается. Проявляются структуру и возможности транспорта, технологического, аналитические модули MCNTC. В групповых MCNTC плазменных технологий очистки, седиментации, травления (ПК, ПХО, ПЭ, РИТ, DLC) и нанолокальной технология нанопротравливания и nanodeposition Зонд технологий (NLZPE, NLZCVD) реализуются. Модульная открытая архитектура, позволяет обеспечить гибкую автоматическую MCNTC управления и увеличить свои транспортные, технологические, аналитические возможности. Решение компонента MCNTC является модуль «Суперкомпьютер». Это позволяет организовать закрыл нанотехнологий линии дизайн-центр + nanofabric. Модуль «Суперкомпьютер» позволит моделировать и проектные микроструктуры, наноэлементов, nanocircuts, функциональные наносистемы, МЭМС, НЭМС, которые могут быть сделаны на MCNTC |