539.2 Б 49 Берлин, Евгений Владимирович. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [] : научное издание / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2013. - 255 с., [2] вкл. л. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр.: с. 242-255. - ISBN 978-5-94836-369-1 : 568.70 р.
Рубрики: ФИЗИКА--ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА--КРИСТАЛЛОГРАФИЯ |