С 58 Создание многослойных структур на основе ALQ 3 и исследование их свойств / Д. А. Заярский, А. А. Невешкин, В. Б. Байбурин, Ю. П. Слаповская // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 4. - С. 30-33. - Библиогр.: с. 33 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИМЕРНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ТРИ-8-ОКСИХИНАЛИН АЛЮМИНИЯ -- МДМ-СТРУКТУРА Аннотация: Приведена методика формирования тонкопленочных полимерных покрытий на основе три-8-оксихиналин алюминия (Alq 3) и параметры оптимального режима нанесения, при котором толщина покрытий находится в пределах 100 нм. Создана многослойная тонкопленочная МДМ-структура на основе Alq 3 и исследованы ее электрофизические свойства |