Б 44 Белянин, А. Ф. Влияние термообработки углеродных пленок на характеристики автоэмиссионных катодов на их основе / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, В. В. Борисов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 8. - С. 20-27 : рис., граф. - Библиогр.: с. 27 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ -- АВТОЭМИССИОННЫЕ КАТОДЫ -- СПЕКТРОСКОПИЯ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА Аннотация: Рассмотрены особенности формирования углеродных пленок методом тлеющего разряда. Изучены состав и строение углеродных пленок с использованием электронной микроскопии, спектроскопии ИК и комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифрактометрии. Изучено влияние термообработки на строение углеродных пленок и вольт-амперные характеристики автоэмиссионных катодов на их основе |