В 88 Ву, Ш. Сканирующая микроволновая микроскопия: уникальный метод измерений в нанодиапазоне / Ш. Ву // Наноиндустрия. - 2014. - № 3(49). - С. 34-39 : рис. - Библиогр.: с. 39 (7 назв.) . - ISSN 1993-8578 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ИЗМЕРЕНИЕ Аннотация: Компания Agilent Technologies разработала новый измерительный метод – сканирующую микроволновую микроскопию (СММ), которая уже удостоена ряда престижных наград. СММ объединяет широкие возможности измерений электрических величин микроволновым векторным анализатором цепей (ВАЦ) с наноразмерным пространственным разрешением атомно-силового микроскопа (АСМ). Этот метод может эффективно применяться при проведении разнообразных исследовательских работ. |