Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. ЕБелозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМОСТОЙКОСТЬ -- МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ |