Инвентарный номер: нет.        Е 92     Ефремов, Г. И.     Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов [Текст] / Г. И. Ефремов, Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 УДК 620.3 ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ТРЕХЭЛЕКТРОДНАЯ СИСТЕМА -- МИКРОАКТЮАТОР