Инвентарный номер: нет.        Б 61         Биморфный пьезоэлектрический двигатель для МЭМС на основе GaAs [Текст] / Е. А. Вопилкин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 47-51 : рис. - Библиогр.: с. 51 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 УДК 620.3 ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БИМОРФ -- ПЬЕЗОДВИГАТЕЛЬ -- МИКРОКОНСОЛЬ