Инвентарный номер: нет.        Н 74         Новое поколение установок молекулярно-пучковой эпитаксии [] / Ю. Погорельский [и др.] // Наноиндустрия. - 2008. - № 6. - С. 8-11 : рис. . - ISSN 1993-8578 УДК 620.3 ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ