В 74 Вопилкина, Е. А. Возможности микроэлектромеханических систем [Текст] / Е. А. Вопилкина // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 47-50 : рис. - Библиогр.: с. 50 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОГИРОСКОП -- АКСЕЛЕРОМЕТР |