У 59 Универсальный термочувствительный элемент для датчиков газового потока [Текст] / Н. А. Дюжев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 23-25 : рис. - Библиогр. : с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОТЕРМОАНЕМОМЕТР -- РАСХОДОМЕТРИЯ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ДАТЧИКИ РАСХОДА ГАЗА |