Э 47 Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением / В. А. Швец [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 106-118 : ил. - Библиогр. : с. 117-118 (65 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕЦИЗИОННЫЙ МЕТОД -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ -- ОПТИЧЕСКАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ |