О-39 Огородникова, О. М. Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники / О. М. Огородникова, О. А. Панин // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 5. - С. 12-15 : ил. - Библиогр. : с. 15 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА -- КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ -- МИКРОЗЕРКАЛО -- ТЕРМИЧЕСКИЙ АКЮАТОР |