Б 20 Балыкин, В. И. Нанолитография методами атомной оптики / В. И. Балыкин, П. Н. Мелентьев // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 7-8. - С. 68-85 : рис., табл. - Библиогр. : с. 84-85 (103 назв.) . - ISSN 1195-078 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЛИТОГРАФИЯ -- АТОМНАЯ ОПТИКА |