К 63 Компьютерное моделирование средств измерений в нанометрологии / А. В. Заблоцкий [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 8. - С. 2-6 : рис. - Библиогр. : с. 6 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АСМ -- РЭМ -- НАНОМЕТРОЛОГИЯ |