С 40 Системный подход к проектированию распределенных нанотехнологических производственных систем / С. И. Ветров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 17-26 : рис. - Библиогр. : с. 26 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДУЛЬ НАНОТЕХНИЧЕСКИЙ -- НАНОРЕЗАНИЕ -- ПРЕДПРИЯТИЕ ВИРТУАЛЬНОЕ -- ЕДИНОЕ ИНФОРМАЦИОННОЕ ПРОСТРАНСТВО |