П 50 Полимерные пленки на основе поли-п-ксилилена для применения в микро-и оптоэлектронике / И. В. Богинская, А. В. Гусев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 17-22 : рис., табл. - Библиогр. : с.22 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ПОЛИМЕРНЫЕ -- ПОЛИ-П-КСИЛЕН -- ПОКРЫТИЯ ЗАЩИТНЫЕ -- ТЕРМОДАТЧИК Аннотация: Разработана технология получения полимерных покрытий на основе поли-п-ксилилена и полихлоp-п-ксилилена на подложках со сложным рельефом поверхности. Покрытия толщиной в диапазоне от 50 нм до 50 мкм формируются на подложках из газовой фазы в условиях вакуума. Показано, что эти покрытия являются влагостойкими, оптически прозрачными материалами, химически инертными к большинству органических растворителей, растворам кислот и щелочей, имеют высокую механическую прочность и высокие диэлектрические характеристики. Полученные температурные зависимости электрического сопротивления в тонких пленках поли-п-ксилилена имеют сильно выраженный нелинейный характер, что делает их перспективным материалом для создания термодатчиков. Пленки полихлоp-п-ксилилена могут применять в качестве эффективных защитных влагостойких покрытий для элементов электронных и оптических систем |