С 72 Спирин, В. Г. Математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 38-40 : табл., рис. - Библиогр. : с. 40 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗИСТОР ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ -- МОДЕЛЬ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ -- МИКРОСБОРКИ Аннотация: Разработана математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора и его погрешности. Применение этой модели позволит проектировать тонкопленочные резисторы с топологическими размерами 10...50 мкм |