Д 40 Джашитов, В. Э. Теоретические основы разработки и создания суперминиатюрного микромеханического многофункционального датчика инерциааьной информации / В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов, М. А. Барулина> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 46-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ИНЕРЦИОНАЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ -- УРАВНЕНИЯ ДВИЖЕНИЯ -- СОСТОЯНИЕ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОЕ Аннотация: Рассмотрена возможность создания суперминиатюрного (объем < 1 мм3) микромеханического многофункционального (гироскоп + акселерометp) датчика инерциальной информации. Выведены и проанализированы уравнения движения датчика на произвольно движущемся основании с учетом температурных возмущений и технологических факторов. Предложены возможные конструктивные варианты упругого подвеса датчика. Получены с помощью построенных конечно-элементных моделей оценки напряженно-деформированного состояния датчика при механических и тепловых воздействиях. Проведена оценка эффективности функционирования датчика с учетом температурных и технологических погрешностей |