Д 72 Драгунов, В. П. Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41 : рис. - Библиогр. : с. 41 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов |