И 88 Исследование физико-химических и электрофизических свойств, газочувствительных хаpактеpистик нанокомпозитных пленок состава SiO2-SnOx-CuOy / В. В. Петров, Т. Н. Назарова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 15-21 : рис., табл. - Библиогр. : с.21 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД ЗОЛЬ-ГЕЛЬ -- МАТЕРИАЛ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- ДИОКСИД АЗОТА Аннотация: Приведены результаты изучения формирования тонких пленок газочувствительного материала состава SiO2-SnOx-CuOy золь-гель-методом. Было проведено исследование их физико-химических и электрофизических свойств, а также изучены газочувствительные характеристики. Определено, что сенсор газа, изготовленный на основе пленок газочувствительного материала состава SiO2-SnOx-CuOy проявляет селективную чувствительность к диоксиду азота в диапазоне рабочих температур 100...200 °C |