П 32 Пивоненков, Б. И. Новый класс пьезорезистивных микро- и наносенсоров / Б. И. Пивоненков // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 38-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕНСОР МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН -- СЕНСОР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ Аннотация: Предложен новый класс пьезорезистивных сенсоров, обладающих гораздо более высокими характеристиками по сравнению с существующими при более простой технологии их изготовления, описаны конструктивные решения сенсоров нового типа, представлены результаты расчета их характеристик в "объемном" и "планарном" исполнении. Рассматриваемые сенсоры нового типа обеспечивают более высокие основные характеристики (включая возможность уменьшения размеров преобразователя до сотен микрометров), минимальный разброс чувствительности, более простую технологию изготовления и ее совместимость с технологией изготовления схем усиления и обработки сигнала |