Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/З-63 Автор(ы) : Зинченко С. П., Ковтун А. П., Толмачев Г. Н. Заглавие : Оптический in situ контроль синтеза наноразмерных пленок цирконата титаната свинца в камере газового разряда Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 5-6 . - С. 77-80: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223 Примечания : Библиогр. : с. 80 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): контроль оптический in situ --пленки наноразмерные--камера газового разряда Аннотация: В работе приводятся результаты применения оптического in-situ контроля физического состояния напыляемых газоразрядным способом пленок цирконата титаната свинца Pb(ZrxTi1-х)O3 (ЦТС) на подложке из нержавеющей стали. Обнаружена осцилляторно-затухающая в процессе напыления зависимость интенсивности оптического излучения, отраженного от пленки на подложке. Кривая в значительной мере зависит от вводимой в разряд мощности и от типа получаемой пленки. Структура пленок исследовалась методом рентгеноструктурного анализа. На начальном этапе напыления формируется буферный переходной слой ЦТС со структурой пирохлора, который присутствует в неизменном виде в процессе дальнейшего напыления ЦТС пленки со структурой перовскита. Предложенный метод позволяет в текущем режиме не только контролировать оптические характеристики синтезируемого материала, но и определять направление процесса синтеза пленок Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Ковтун, А. П.; Толмачев, Г. Н.