Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 43 Автор(ы) : Белов А. Н. Заглавие : Формирование наноструктурированного оксида титана методом анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан Место публикации : Нанотехника. - 2010. - № 1. - С. 78-81: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498 Примечания : Библиогр. : с. 81 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оксид титана наноструктурированный--метод анодного окисления--структуры двухслойные алюминий-титан Аннотация: В работе рассмотрены особенности процесса формирования слоев пористого оксида титана и плотного оксида титана со столбчатой наноструктурой методом анодного окисления двухслойных структур алюминий-титан, нанесенных на поверхность кремниевых пластин. Обоснованы условия, обеспечивающие воспроизводимое получение наноструктурированного оксида титана Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН