Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 38 Автор(ы) : Ануфриев Ю. В., Зенова Е. В., Кондратьев П. К., Рачников Д. А. Заглавие : Технологический маршрут изготовления наноразмерных ячеек энергонезависимой памяти на фазовых переходах с применением двухлучевой установки novananolab 600 Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 26-28: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 28 (6 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): память энергонезависимая--установка двухлучевая novananolab 600 --ячейки наноразмерные Аннотация: Рассматривается один из возможных способов создания прототипа матрицы ячеек энергонезависимой памяти с использованием Dual-beam-технологии. Предложенная технология в будущем позволит изготавливать матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах, внедренных в структуру СБИС Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Ануфриев, Ю. В.; Зенова, Е. В.; Кондратьев, П. К.; Рачников, Д. А.