Вид документа : Шифр издания : 620.3/М 35 Автор(ы) : Матюшкин И. В. Заглавие : Методика компарации способов коррекции оптических эффектов баизости при формировании топоаогии на фоторезисте Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12. - С. 5-10: рис. Примечания : Библиогр. : с.10 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): топология--коррекция оптических эффектов близости--фоторезистор Аннотация: На основе САПР Synoрsys и MATLAB разработана методика компарации ОРС-методов. Дана математическая формулировка процедуры компарации, связанная с контурными метриками и учитывающая интерактивно-графический характер компаратора. Предложен метод базовой матрицы доведения компарации Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН