Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/С 60 Автор(ы) : Соловьев В. В. Заглавие : Модель прецизионной обработки твердых хрупких кристаллических материалов с получением нанометрового рельефа поверхности Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - №12. - С. 10-14: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 14 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Все большее применение алмазы и другие алмазоподобные твердые материалы находят в промышленности. Монокристаллы лейкосапфира благодаря своим свойствам находят широкое применение при производстве высокотехнологичных изделий в области нанотехнологий. Шероховатость поверхности подложки является важным параметром при изготовлении высокочастотных приборов. Наличие дислокаций, микротрещин приводит к образованию дефектов в эпитаксиальных слоях, ухудшая эксплуатационные свойства микросхем. Для изготовления указанных изделий необходима прецизионная обработка поверхности с получением нанометрового рельефа. Традиционная обработка представляет собой сложную технологическую схему с финишным полированием в агрессивных средах. Перспективный метод квазипластичной обработки позволяет получать на этапе алмазного шлифования высококачественную поверхность Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН