Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/О-93 Автор(ы) : Козлов Д. В., Смирнов И. П., Корпухин А. С., Жуков А. А., Бабаевский П. Г, Сухоруков А. Г. Заглавие : Оценка влияния многоциклового изгиба на термодеформационные характеристики упруго-шарнирных балок тепловых микроактюаторов Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 22-25: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 25 (8 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроактюатор тепловой--балки упругошарнирные--полиимид--кремний--термодеформация начальная и рабочая Аннотация: Предложена методика и проведена оценка влияния многоциклового изгиба на термодеформационные характеристики упруго-шарнирных балок тепловых микроактюаторов после воздействия заданного числа циклов нагружения. Показано, что угол термодеформации при нагревании микроактюатора после усталостных циклических испытаний в течение 5-106 циклов снижается приблизительно на 15 %, а после 3,2-107 - на 25 %. Предложенная методика и полученные результаты дают возможность оценивать жизнеспособность актюаторов и стабильность их характеристик в процессе эксплуатации, а также влияние "старения" балок на эти характеристики Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Козлов, Д. В.; Смирнов, И. П.; Корпухин, А. С.; Жуков , А. А.; Бабаевский, П. Г; Сухоруков, А. Г.