Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/П 27 Автор(ы) : Вопилкин Е. А., Чеченин Ю. И., Савицкая Л. Н., Бронникова Н. Г., Шашкин В. И. Заглавие : Переменный МЭМС-конденсатор с электростатическим управлением Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 30-34: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 34 (7 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мэмс--варактор--двигатель кулоновский--акселерометр Аннотация: Изготовлена микроэлектромеханическая система (МЭМС) на подложке арсенида галлия, представляющая собой подвижную золотую мембpану толщиной 1,5 мкм размером 100X100 мкм с электростатическим управлением. Исследованы статические электрофизические и резонансные колебательные свойства данной системы. Проведена оценка возможности использования его в качестве емкостного акселерометра, кулоновского двигателя и варактора Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Вопилкин, Е. А.; Чеченин, Ю. И.; Савицкая, Л. Н.; Бронникова, Н. Г.; Шашкин, В. И.