Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Б 28 Автор(ы) : Батурин А. С., Чуприк А. А. Заглавие : Измерение емкости квазистатическим методом в атомно-силовом микроскопе Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 2-7: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 7 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): асм--емкость--характеристики вольт-фарадные--нанометрология Аннотация: Рассмотрен квазистатический метод одновременного измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик с помощью атомно-силового микроскопа. Выполнен систематический анализ источников погрешности измерения емкости микроструктур. Показана возможность измерения емкости в диапазоне 10...500 пФ с погрешностью менее 3 % и с высоким пространственным разрешением Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Чуприк, А. А.