Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/У 67 Автор(ы) : Аверин И. А., Карпова С. С., Мошников В. А., Никулин А. С., Печерская Р. М., Пронин И. А. Заглавие : Управляемый синтез тонких стекловидных пленок Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 23-25. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 25 (5 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки стекловидные--матрицы пористые --метод золь-гель-технология Аннотация: Представлены качественные и количественные закономерности процессов синтеза тонких пленок методом золь-гель-технологии, установленные на основе теоретических моделей и экспериментов. Показано влияние на морфоструктуру поверхности пленок температуры отжига, видов растворителей, типов подложек. Выработана методика синтеза пленок для чувствительных элементов газовых сенсоров на основе ортокремниевой кислоты Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Аверин, И. А.; Карпова, С. С.; Мошников, В. А.; Никулин, А. С.; Печерская, Р. М.; Пронин, И. А.