Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/В 58 Автор(ы) : Гавриленко В. П., Митюхляев В. Б., Раков А. В., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Шаронов В. А. Заглавие : Влияние контаминации в РЭМ на профиль рельефных элементов нанометрового диапазона Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 2-6: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 6 (10 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Представлены результаты исследований влияния контаминации в РЭМ S-4800 на профиль рельефных элементов меры нанометрового диапазона МШПС-2.0К. Показано, что в результате электронного облучения изменяется форма профиля рельефных элементов, представлены зависимости их параметров от дозы электронного облучения для разных режимов облучения Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Гавриленко, В. П.; Митюхляев, В. Б.; Раков, А. В.; Тодуа, П. А.; Филиппов, М. Н.; Шаронов, В. А.