Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Т 65 Автор(ы) : Ковалевский А. А., Строгова А. С., Плякин Д. В., Цыбульский В. В., Борисевич В. М. Заглавие : Трансформация германосиликатного стекла в нанокластеры германия Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 18-23: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 23 (24 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: С использованием спектроскопии рамановского рассеивания света, ИК-спектроскопии, высокоразрешающей электронной и атомной силовой микроскопии и анализа дифракции рентгеновских лучей представлены результаты исследований процесса самоорганизации нанокластеров германия в пленках германосиликатного стекла (ТСС)- (SixGeyOz), полученных в процессе окисления и термообработки наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием (НСПКК (Ge)). Рассмотрен механизм оттеснения Ge в ТСС к границе раздела ТСС - подложка, который включает следующие стадии: расслоение между GeO2 и SiO2, последующее восстановление кремнием и водородом GeO2 до Ge и образование ядер маленьких кристаллитов Ge с их последующим ростом Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Ковалевский, А. А.; Строгова, А. С.; Плякин, Д. В.; Цыбульский, В. В.; Борисевич, В. М.