Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 620.3/Н 52 Автор(ы) : Войцеховский А. В., Несмелов С. Н., Кульчин Ю. Н. , Мельников А. А. Заглавие : Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона Место публикации :. - № 2. - С. 41-47: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. : с. 47 (44 назв.) УДК : 620.3 ББК : 623.7 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Рассмотрены особенности технологии создания неохлаждаемых микроболометрических детекторов на основе пленок полиметаллического силицида германия, а также параметры дискретных и матричных детекторов на основе данного материала. Потенциальные преимущества детекторов данного типа могут быть реализованы при совмещении технологии создания детекторов с кремниевой КМОП-технологией Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Войцеховский, А. В.; Несмелов, С. Н.; Кульчин, Ю. Н. ; Мельников, А. А.